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隧道(dao)防(fang)水(shui)板隨(sui)著隧(sui)道板氣(qi)相沉積技術(shu)被(bei)廣(guang)泛用(yong)於製備(bei)各(ge)種功能(neng)性(xing)薄(bao)膜(mo)材料，材(cai)料的氣(qi)-固相變(bian)也日(ri)益(yi)顯示(shi)出其(qi)重要(yao)性(xing)。氣(qi)-固(gu)相變雖(sui)與液(ye)-固相變有諸(zhu)多(duo)相似性(xing)，但(dan)其蒸發和凝(ning)聚(ju)的控(kong)製(zhi)，轉變產(chan)物(wu)的結構(gou)和形態(tai)均有(you)自身(shen)的特(te)點(dian)。本節圍繞氣(qi)相沉積中的氣(qi)-固相變，討(tao)論(lun)材料飽和蒸氣(qi)壓(ya)與溫度的關係，氣(qi)相沉積中兩個基本過程，蒸發和凝聚(沉積)的熱力學(xue)條(tiao)件(jian)，凝聚過程中(zhong)的形核與生長(zhang)。